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(서울=NSP통신) 박천숙 기자 = 테스(095610)는 디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 박막증착장치 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

테스는 “공정 수행 시 공정가스에 의해 챔버 내부 증착 공간의 하부 등에 파우더가 쌓이는 것을 방지할 수 있고 발생을 억제할 수 있어 증착효율성이 개선” 된다고 밝혔다.

NSP통신/NSP TV 박천숙 기자, icheonsuk@nspna.com
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