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테스 기판처리장치 및 실리콘막 형성 방법 특허

2019-09-04 15:08, 김하연 기자 [XML:KR:2001:중기/벤처/기타]
#테스(095610), #기판처리장치, #실리콘막, #비정질, #제품경쟁력

(서울=NSP통신) 김하연 기자 = 테스(095610)는 기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법과 탄소 및/또는 보론를 포함하는 비정질 실리콘막의 형성 방법에 관한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.

회사는 이번 특허를 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 계획이라고 밝혔다.

 

NSP통신 김하연 기자 haaykim@nspna.com
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