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(서울=NSP통신) 박천숙 기자 = 테스(095610)는 공정가스의 흐름조정장치에 대한 특허권를 취득했다고 1일 공시했다.

테스는 “이번 특허는 가스의 흐름을 가이드하는 가스가이드부의 위치를 가변시켜 공정가스의 불균일한 흐름을 용이하게 컨트롤할 수 있어 수율 향상에 기여할 수 있다”고 밝혔다.

NSP통신/NSP TV 박천숙 기자, icheonsuk@nspna.com
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