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(사진 = 이복현 기자)

(서울=NSP통신) 이복현 기자 = 네덜란드 반도체 장비회사 ASM이 국내에 1억달러 투자를 비롯해 화성 캠퍼스에 제2제조연구혁신센터를 지을 예정이다.

글로벌 반도체 장비회사 ASM이 오늘(23일) 조선 팰리스 서울 강남에서 국내 첫 기자간담회를 갖고 한국 사업 계획을 발표했다.

우선 벤자민 로 CEO는 반도체산업 생태계에서 한국의 중요성에 대해 강조하며 “지난 2월 산업통산자원부와 1억불 투자 MOU를 맺은데 이어 오는 24일에는 경기도 화성에서 제2제조연구혁신센터 기공식을 진행한다”라고 밝혔다.

ASM은 지난 2019년 경기도 화성 동탄에 제조연구혁신센터인 화성캠퍼스를 설립해 플라스마 원자층증착(PEALD) 기술과 장비를 개발·생산했다.

이번에 ASM은 화성캠퍼스 내 제2제조연구혁신센터를 증축할 예정이다. 완공시기는 2025년을 목표로 하고 있다. 기존 센터의 규모는 약 2만m2에 달하며, 화성 제2제조연구혁신센터가 완공되면 8개 층에 걸친 3만1000m2의 공간이 추가된다.

이번 증설로 ASM 화성 시설의 연구개발 공간은 두 배 이상으로, 제조 공간은 세 배 가까이 확장될 예정이다. 시설 확장에 따라 현재 460여명 이상의 직원 숫자도 점차 늘어날 예정이다.

벤자민 로 CEO는 한국에 투자하는 이유에 대해 “한국은 아주 중요한 연구개발 제품 개발과 생산기지이며 우수한 개발인력을 보유하고 있기 때문”이라고 말했다. 특히 “중국의 현 상황에 영향을 받지는 않았다”며 “한국은 플라즈마원자층증착(PEALD) 연구개발과 생산이 진행되는 유일한 기지로, 이 PEALD 사업이 성장하고 있고 수요가 늘어나기 때문에 한국의 추가증설투자를 하게 됐다”고 설명했다.

실제 한국은 ASM의 플라즈마원자층증착(PEALD) 사업의 글로벌 중심지다. ASM의 국내 R&D팀이 개발한 기술은 원자층증착(ALD) 쿼드 챔버 모듈(QCM) 아키텍쳐, TENZA ALD(초고비율, >100:1)로 구성된 갭 필 기술, 스페이서, 라이너 및 기타 패터링 응용에 사용되는 고품질 PEALD 실리콘 및 금속 산화물 및 질화물과 같은 반도체 산업의 혁신을 이끌었다.

이외 ASM은 이번 투자를 통해 지역 일자리 창출을 기대하고 있으며 엔지니어링, 연구 개발 및 제조 분야에서의 국내 인재 양성과 인력 개발에도 힘쓸 계획이다.

ASM은 지난해 매출 기준 세계 7위 반도체 장비업체로 국내 대표기업인 삼성전자와 SK하이닉스도 고객사로 두고 있다.

NSP통신 이복현 기자(bhlee2016@nspna.com)

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