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(서울=NSP통신) 민효진 기자 = 에스엔유(080000)는 원자층 증착장치에 대한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

에스엔유는 “특허 주요내용은 원자층 증착장치(Atomic layer Deposition)에 관한 것으로서,기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절하여 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있는 원자층 증착장치에 관한 것이다”고 밝혔다.

NSP통신/NSP TV 민효진 기자, mhj0211@nspna.com
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