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[서울=NSP통신] 이상철 기자 = 참엔지니어링은 플라즈마 처리 장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.

회사 측은"특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화 할 것"이라고 밝혔다.

이상철 NSP통신 기자, lee21@nspna.com
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