젬백스 TSMC 양산설비 필터 수주-NSP통신

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젬백스, TSMC 양산설비 필터 수주

NSP통신, 이복현 기자

입력 2021-09-08 10:54 KRD7

#젬백스앤카엘(082270) #TSMC #양산설비필터

(서울=NSP통신) 이복현 기자 = 젬백스(082270)가 파운드리(반도체 위탁생산)업체 TSMC의 요구로 ArF(불화아르곤) spinner용 케미컬 에어 필터(CA Filter)를 수주했다고 밝혔다.

젬백스는 지난 8월 TSMC가 신규로 설치한 일본 TEL(Tokyo Electronic)사의 최신식 EUV(Extreme Ultra Violet) spinner 용 장비에 적용될 필터를 테스트하기 위해 시제품을 단독으로 납품했다고 밝힌 바 있다.

이번 공급은 진행중인 시제품 테스트와는 별개로 타이난(Tainan)에 소재한 F14 양산(Mass production)형 Fab에서 가동 중인 기존 ArF 용 장비에 유상으로 공급한다는 것에 의미가 있다. TSMC는 신주(Hsinchu)의 실험센터 F12를 포함해 타이난(Tainan)에 F14와 F18 타이중(Taichung)에 F15 등 총 4의 Fab에서 300MM(12인치) 웨이퍼 Fab을 가동하고 있으며, 젬백스는 시제품을 포함해 2개의 Fab에 납품하게 됐다.

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현재 신주(Hsinchu) 실험센터에서 진행 중인 테스트가 성공적으로 마무리되면 타이난(Tainan)에 소재한 또다른 양산형 Fab인 F18로 공급이 확대되어 총 4기의 300MM 웨이퍼 Fab 중 3개의 Fab에 납품을 하게 된다.

젬백스 관계자는 “이번 납품을 시작으로 TSMC의 모든 300MM 웨이퍼 Fab의 모든 장비용 필터로영역을 확대하고 장기적으로는 시설(Facility)용 필터까지 납품하는 것을 목표로 TSMC와의 신뢰관계를 형성하고자 한다”고 밝혔다.